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四方光電(武漢)儀器有限公司為四方光電股份有限公司(688665.SH)的全資子公司,前身為成立于2010年的湖北銳意自控系統(tǒng)有限公司,是一家專業(yè)提供氣體成分及流量測量方案的高新技術(shù)企業(yè),服務(wù)于環(huán)境監(jiān)測、過程氣體監(jiān)測、智慧計(jì)量等領(lǐng)域?! 』谒姆焦怆姾诵臍怏w傳感技術(shù)平臺的優(yōu)勢,四方儀器開發(fā)了系列非分光紅外(NDIR)、紫外差分吸收光譜(UV-DOAS)、激光拉曼(LRD)、超聲波(Ultrasonic)、熱導(dǎo)(TCD)、光散射探測(LSD)等技術(shù)原理的氣體成分流量儀器儀表,產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于環(huán)境...

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2025年10月17日,中國內(nèi)燃機(jī)工業(yè)協(xié)會(huì)秘書長賈濱一行蒞臨四方光電參觀考察,湖北省汽車工程學(xué)會(huì)、湖北省內(nèi)燃機(jī)學(xué)會(huì)及華中科技大學(xué)能源學(xué)院的多位專家學(xué)者隨行參訪。...
技術(shù)文章 article
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一、半導(dǎo)體制造中氧監(jiān)測的重要性與難點(diǎn)在半導(dǎo)體制造過程中,氧污染會(huì)引發(fā)不必要的氧化反應(yīng),導(dǎo)致集成電路和硅片產(chǎn)生缺陷,進(jìn)而破壞薄膜結(jié)構(gòu)的完整性,嚴(yán)重影響產(chǎn)品的均勻性與可靠性。因此,半導(dǎo)體制造商必須對工藝氣體及設(shè)備腔室中的氧含量進(jìn)行嚴(yán)格監(jiān)控,即便是微量氧氣(低至ppm級)也可能顯著損害元件性能。目前,半導(dǎo)體工藝氣體中的氧監(jiān)測主要面臨以下技術(shù)難點(diǎn):需實(shí)現(xiàn)10ppm以下超低濃度氧的精確檢測;需支持真空環(huán)境下的持續(xù)氧濃度監(jiān)測;需在還原性氣氛中確保設(shè)備安全穩(wěn)定運(yùn)行。在眾多氣體檢測技術(shù)中,氧...
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