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半導體行業微量氧分析儀的自主研發與技術創新

一、半導體制造中氧監測的重要性與難點在半導體制造過程中,氧污染會引發不必要的氧化反應,導致集成電路和硅片產生缺陷,進而破壞薄膜結構的完整性,嚴重影響產品的均勻性與可靠性。因此,半導體制造商必須對工藝氣體及設備腔室中的氧含量進行嚴格監控,即便是微量氧氣(低至ppm級)也可能顯著損害元件性能。目前,半導體工藝氣體中的氧監測主要面臨以下技術難點:需實現10ppm以下超低濃度氧的精確檢測;需支持真空環境下的持續氧濃度監測;需在還原性氣氛中確保設備安全穩定運行。在眾多氣體檢測技術中,氧...

  • 2022

    7-19

    汽車尾氣排放分析儀是在汽車發動機正常運轉時,對汽車排放的尾氣進行檢測、分析,從而判斷汽車發動機是否工作正常、排出的有害氣體是否超出標準的一種儀器。作為機動車尾氣檢驗以及維修機構的核心設備,這種儀器的質量和性能直接影響到對汽車尾氣排放超標進行檢查的效率和效果。因此,獲得具有法定效力的計量認證證書是產品應用于市場的重要前提條件。隨著新的汽車尾氣排放檢測法規《汽油車污染物排放限值及測量方法(雙怠速及簡易工況法)》GB18285-2018和《柴油車污染物排放限值及測量方法(自由加速法...

  • 2022

    6-24

    前言:隨著新能源鋰電池、半導體、生物制藥、液晶面板等領域的快速發展,對生產環境的潔凈度提出了更高的要求,有效控制潔凈室空氣中的塵埃粒子濃度至關重要。按照國家相關規定,潔凈室在設計、建造以及交付運行以后,都需要對其性能和合理性進行綜合評價分析。那么,企業為了滿足生產條件搭建符合標準要求的潔凈室環境,該如何實現對塵埃粒子的監測呢?以往客戶僅在項目驗收時采用手持式塵埃粒子計數器針對作業廠區內相關區域進行潔凈度檢測,而工程驗收合格投入使用后,則只會定期安排人工進行抽查巡檢,這樣的做法...

  • 2022

    4-26

    暗藏在湖底的危機圖1、非洲盧旺達基伍湖盧旺達的基伍湖風景如畫,被譽為“非洲大湖”之一?;楹眰扔幸蛔罨鹕?,數千年的火山活動導致甲烷和二氧化碳大量積累溶解在基伍湖深處??茖W家認為基伍湖看似平靜,卻危險重重,大約有3000億立方米的溶解二氧化碳、600億立方米的甲烷以及含有有毒的硫化氫潛藏湖底。這些溶解的氣體隨時可能以湖沼噴發的形式爆炸性地釋放,一旦爆發,不僅會釋放致命的二氧化碳,還可能引起甲烷爆炸,引發災害。圖2、基伍湖分層深水區示意圖湖底甲烷變身可持續能源對周邊人口及國家...

  • 2022

    4-20

    一、背景隨著我國機動車保有量的增加,大氣污染正在向工業燃煤污染與機動車排氣污染復合型發展,機動車排氣污染對顆粒物和氮氧化物的貢獻率較大。特別是柴油貨車和非道路機械的排放,對我國環境空氣質量的影響日益凸顯,成為我國污染治理的重中之重。圖1:2018年污染物排放對比圖數據來源:《移動源環境管理年報(2019)》為了控制非道路移動機械污染,國家出臺了《柴油貨車污染治理攻堅戰行動計劃》,對柴油貨車、非道路移動機械的污染防治工作進行了統一的部署和規劃。對于柴油貨車,明確要求:(1)加大...

  • 2022

    4-18

    激光粉塵傳感器是利用激光散射原理,對空氣中存在的粉塵顆粒物進行探測,具有良好的選擇性、穩定性。ZH03激光粉塵傳感器模組具有數字輸出和模擬輸出,方便使用,可廣泛應用于便攜式儀表、空氣質量監測設備、空氣凈化機、新風換氣系統、空調、智能家居設備等場所。激光粉塵傳感器的結構和電路相對雜亂。其光源為激光二極管。采樣或鼓風機推進,通過雜亂規劃的風道,進行檢測。當空氣中的細顆粒物進入激光束所在區域時,將使激光發作散射;散射光在空間360°都有輻射,咱們在適當位置放置光電探測器,使之只接收...

  • 2022

    4-13

    在第一臺激光器誕生60多年后的今天,隨著激光光源、探測技術、實驗裝置和數據處理等各方面技術的飛躍發展,激光光譜技術作為微觀感知領域的核心技術,已經成為物理、化學、生物、環境以及天文學等領域中研究光與物質相互作用的重要手段,從實驗室基礎研究到各領域應用第一線都扮演著重要的角色。拉曼光譜技術早有布局,突破工業過程氣體分析技術瓶頸在工業過程氣體監測領域,傅里葉紅外(FITR)、質譜(MS)、氣相色譜(GC)等原理的氣體分析儀各有優點。傅里葉紅外技術一個氣室很難適合不同的量程,也無法...

  • 2022

    4-2

    近日,由于上海某隔離酒店使用了回風+新風混合進行空氣調節,全建筑通風系統僅一個通風道,導致病毒通過空氣循環在公共空間內傳播,多人交叉感染,引發大家關注。疫情當下,新風系統的運行狀態不容忽視,從公共建筑,到家居環境,四方光電用傳感守護,讓您的一呼一吸更加舒適、健康、智能!室內空氣品質大多數人超過90%的時間在室內度過,室內空氣品質與人類健康的相關性日益明顯。場所內人員的活動造成CO2濃度持續升高,高濃度二氧化碳對人體造成的危害不容小覷。節能降碳綠色發展在“碳達峰”和“碳中和”背...

  • 2022

    4-2

    2022年3月5日,第十三屆全國人民代表大會第五次會議的政府工作報告中提到:“圍繞國家重大戰略部署和“十四五”規劃,適度超前開展基礎設施投資。建設重點水利工程、綜合立體交通網、重要能源基地和設施,加快城市燃氣管道等管網更新改造,完善防洪排澇設施,繼續推進地下綜合管廊建設,中央預算內投資安排6400億元。”燃氣安全與人們生產生活息息相關,已成為城市應急管理工作的頭等大事。四方光電掌握非分光紅外(NDIR)、可調諧半導體激光吸收光譜(TDLAS)、電化學等多種核心技術平臺及應用,...

  • 2022

    3-11

    如果你去買車或者驗車,常聽到國六標準的說法,汽車銷售們還會告訴你盡量要買符合國六B的車型。你可能會好奇:什么是國六A、國六B?國六B又是通過什么樣的標準和測試設備檢測出來的呢?在國產化替代的今天,有沒有國產的測試設備能夠支持國六B排放標準的測試呢?本文將帶您全面了解,什么是國六?什么樣的裝備能夠全面支持國六B測試?在國六B標準趕超歐6標準的當下,咱國產的測試裝備是否也可*替代進口?國六A和國六B國六標準,即“國家第六階段機動車污染物排放標準”,主要涉及以下四個標準,史上較嚴的...

  • 2022

    3-9

    環境污染一直都是大家關注的焦點問題,為了緩解機動車排放帶來的大氣污染,近年來世界各國都在爭相發展新能源汽車。雖然新能源汽車都得到了長足的發展,但是現階段以汽油、柴油為燃料的內燃機的應用仍然占據主導地位。怎樣有效地控制汽車污染,仍然是全球關注且亟待解決的問題。為了給環境保駕護航,全球范圍內各項環保法規和標準相繼出臺。對我國而言,環境保護部、國家質檢總局等相關部門也針對發動機排放檢測制定了標準,確定了排放限值和檢測方法,同時也對相關的儀器技術提出了新的需求。鑒于此,各大儀器廠商在...

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