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半導體行業微量氧分析儀的自主研發與技術創新

一、半導體制造中氧監測的重要性與難點在半導體制造過程中,氧污染會引發不必要的氧化反應,導致集成電路和硅片產生缺陷,進而破壞薄膜結構的完整性,嚴重影響產品的均勻性與可靠性。因此,半導體制造商必須對工藝氣體及設備腔室中的氧含量進行嚴格監控,即便是微量氧氣(低至ppm級)也可能顯著損害元件性能。目前,半導體工藝氣體中的氧監測主要面臨以下技術難點:需實現10ppm以下超低濃度氧的精確檢測;需支持真空環境下的持續氧濃度監測;需在還原性氣氛中確保設備安全穩定運行。在眾多氣體檢測技術中,氧...

  • 2020

    6-11

    根據“兩會”期間公布的2020年政府工作報告,今年要實現單位國內生產總值能耗和主要污染物排放量繼續下降;深化重點地區大氣污染治理攻堅;要打好藍天、碧水、凈土保衛戰,實現污染防治攻堅戰階段性目標。2020年是打贏藍天保衛戰、“十三五”規劃的全面收官之年,我國大氣污染治理進入攻堅“深水期”,剩下的都是難啃的“硬骨頭”。作為一直以來的重點和難點,揚塵污染治理已然成為大氣污染防治目標完成與否的關鍵點之一。揚塵治理,需對癥下藥;而把脈問診,監測為先。高性能的揚塵傳感器對實現揚塵全面監測...

  • 2020

    6-10

    新法規規定,汽車尾氣排放分析儀應至少能自動測量HC、CO、CO2、NO、O2五種氣體濃度。在檢測方法上也發生了較大的變化:一是規定原來的電化學法測量NOx的原理不再適用,必須用光學法原理測量;二是柴油車增加了NOx的檢測。如何準確測量NOx?新標準的出臺直接影響著NOx的測量,光學檢測原理有非分光紅外(NDIR)、微流NDIR、非分光紫外(NDUV)、紫外差分吸收光譜(UV-DOAS),原理不同測量的精度和結果也不同。除了檢測原理不同外,還有兩種測量方式的區別:一種是直接測量...

  • 2020

    6-10

    汽車尾氣排放分析儀是在汽車發動機正常運轉時,對汽車排放的尾氣進行檢測、分析,從而判斷汽車發動機是否工作正常、排出的有害氣體是否超出標準的一種儀器。作為機動車尾氣檢驗以及維修機構的核心設備,這種儀器的質量和性能直接影響到對汽車尾氣排放超標進行檢查的效率和效果。因此,獲得具有法定效力的計量認證證書是產品應用于市場的重要前提條件。隨著新的汽車尾氣排放檢測法規《汽油車污染物排放限值及測量方法(雙怠速及簡易工況法)》GB18285-2018和《柴油車污染物排放限值及測量方法(自由加速法...

  • 2020

    3-25

    新的在用車環保法規GB18285-2018和GB3847-2018于2019年5月1日正式實施。新法規中尾氣檢測方法發生了較大的變化:一是規定原來的電化學法測量NOx的原理不再適用,必須用光學法原理測量;二是柴油車增加了NOx的檢測。受此影響,各地的機動車尾氣檢測站迎來了尾氣分析儀更新換代的高潮。國內的氣體分析儀表制造商——四方光電(武漢)儀器有限公司,基于自身的技術優勢迅速開發出了滿足新國標的尾氣分析儀,適用于汽油車和柴油車。針對HC、CO、CO2,沿用經典的NDIR原理。...

  • 2019

    10-24

    本文重點介紹了轉爐煤氣干法除塵技術的應用現狀,應用過程中存在的問題以及應用措施。通過對轉爐煤氣發生泄爆的工藝機制研究,優化蒸發冷卻塔的設計,從而提高煤氣、蒸汽回收效率,實現利用能源,節能減排的目的。轉爐煤氣的除塵技術可以分成干法和濕法兩種,其中,爐煤氣干法除塵技術的應用,能夠有效地提高能源轉換效率、達到節約新水、節能減排的目的。同時,它能夠極大地降低水資源的消耗,減少煤氣的排放,并對蒸汽進行回收再利用,是現代實現能源轉換的關鍵技術。所以,在轉爐煤氣除塵過程中應用越來越廣泛。在...

  • 2019

    10-24

    在轉爐吹煉的過程中會產生大量的一氧化碳氣體和氧化鐵粉塵,而CO的含量基本接近于90%,熱值比較高,因而轉爐煤氣的回收利用越來越得到重視。煤氣回收條件在進行轉爐煤氣時前提條件是要具備相應的回收條件,這樣才能使用在線氣體分析系統確保煤氣回收的質量。因此在煤氣回收的過程一氧化碳的在煤氣中的含量要大于30%,氧氣的含量要小于1%,在這樣的條件下才能進行有效、安全的回收,所以在煤氣回收之前進行必要的氣體含量檢測。相反在回收之前檢測到的煤氣一氧化碳含量小于30%,氧氣含量大于1%這種條件...

  • 2019

    10-24

    轉爐在線氣體分析系統一般安裝在ID風機后,該設備在使用過程中一旦出現故障,將影響到轉爐煤氣能否回收,直接左右轉爐負能煉鋼指標,影響煉鋼的成本。但在線氣體分析系統在使用過程中卻又不可避免的會出現各類問題,所以解決這些出現的問題則顯得必要而迫切。1在線氣體分析系統的功能轉爐冶煉產生的煙氣中含CO,CO2,O2等成分,通過在線氣體分析系統對煙氣中的CO、CO2、O2等含量進行分析,再選擇CO含量、O2含量合格的煙氣進行回收利用,將大大降低煉鋼的成本。在線氣體分析系統一般由預處理采樣...

  • 2019

    10-23

    在轉爐的過程中吹煉會產生大量的CO氣體和氧化鐵粉塵,而CO的含量基本接近于90%,熱值比較高。當今人們對轉爐煤氣回收利用越來越重視,且轉爐煤氣回收技術也在不斷發展和提高。采用先進的轉爐煤氣成分分析系統更利于煤氣回收,近年來紅外技術的應用,在實際應用中也具有一定的安全性和可靠性。紅外煤氣成分及熱值分析儀Gasboard-3100在轉爐煤氣回收中的應用紅外煤氣成分及熱值分析儀Gasboard-3100在風機前安裝煤氣成分分析系統,以便在進行轉爐煤氣回收的過程中,監測煤氣管道中的C...

  • 2019

    10-23

    煤氣在線分析儀在煤氣化行業氣體監測我國是以煤炭為主要一次能源的國家,一次能源消費中煤炭的占比達到62%。但我國的煤炭利用技術總體上是落后的,在煤炭的轉化利用過程中普遍存在效率低、污染嚴重等問題。隨著能源問題的日益突出,潔凈煤技術越來越多地應用于實際生產過程中,其中大規模煤氣化、煤氣化多聯產技術成為了煤炭綜合應用的主要方向之一。近年來紅外煤氣分析儀越來越多地應用于實際煤氣化煤氣分析當中,本文將結合煤氣分析儀Gasboard-3100在不同領域的實際應用,幫助大家更好的了解煤氣分...

  • 2019

    10-23

    焦爐煤氣在進入靜電除塵設備之前,需要分析焦爐煤氣含氧量,因為靜電除塵設備中的焦爐煤氣含氧量達到一定程度時會引發爆炸事故,從而損壞設備和造成人身傷害,所以對焦爐煤氣中的含氧量分析及監控極為重要。筆者將就煤氣分析系統在靜電除塵工藝中的應用進行探討。1.煤氣靜電除塵技術煤氣除塵技術在我國已經較為成熟,其方法也多樣,本文主要探討的是煤氣靜電除塵。其工藝原理為:含有粉塵顆粒的氣體,在接有高壓直流電源的陰極線(又稱電暈極)和接地的陽極板之間所形成的高壓電場通過時,由于陰極發生電暈放電、氣...

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