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半導體行業微量氧分析儀的自主研發與技術創新

一、半導體制造中氧監測的重要性與難點在半導體制造過程中,氧污染會引發不必要的氧化反應,導致集成電路和硅片產生缺陷,進而破壞薄膜結構的完整性,嚴重影響產品的均勻性與可靠性。因此,半導體制造商必須對工藝氣體及設備腔室中的氧含量進行嚴格監控,即便是微量氧氣(低至ppm級)也可能顯著損害元件性能。目前,半導體工藝氣體中的氧監測主要面臨以下技術難點:需實現10ppm以下超低濃度氧的精確檢測;需支持真空環境下的持續氧濃度監測;需在還原性氣氛中確保設備安全穩定運行。在眾多氣體檢測技術中,氧...

  • 2019

    1-31

    一、低氮燃燒的必要性減少NOx排放是改善環境空氣質量的需要近年來的監測數據表明,典型特征污染物PM2.5出現較大超標比例和區域性長時間嚴重超標情況,改善環境空氣質量面臨巨大挑戰。國內外研究和治理經驗表明,控制區域性PM2.5污染是一項難度非常大的系統工程,必須在綜合分析基礎上,提出有針對性的控制對策,才能有效緩解區域PM2.5污染。PM2.5包括一次排放和二次生成粒子兩部分,以北京為例,二次粒子比例較高,特別是重污染時段PM2.5中二次粒子比例較常規時段明顯增加。有觀測數據表...

  • 2019

    1-26

    近年來,隨著我國天然氣資源利用技術的不斷發展,“煤改氣”工程建設的加快推進,為天然氣鍋爐的推廣提供了能源支持,小型鍋爐作為我國燃氣鍋爐使用的主要方向,已廣泛應用于城市洗浴、酒店、中小型企業及事業單位內部。但目前我國小型天然氣鍋爐的設計尚存在一定問題,如一些部門存在著對鍋爐結構、熱力參數選取以及計算過程的不規范性,使天然氣鍋爐在設計或改造上沒有做到良好的優化,運行上無法保證鍋爐處于大效率,造成了原材料及天然氣能源的浪費。此外,為加快推進集中供熱、“煤改氣”、“煤改電”工程建設,...

  • 2019

    1-26

    要解決沼氣發電機組尾氣排放執行標準的爭議性問題,首先我們要明確沼氣發電機組的工作原理?由于沼氣發電項目兼具社會效益與經濟效益,利用沼氣發電機組發電并網,一般采用單機功率較小的往復式燃氣內燃機組發電技術,通過沼氣在氣缸內燃燒,帶動活塞運動,產生動力,再帶動發電機運轉發電。該技術具有如下特點:①單位千瓦建站投資少,2500~3500元/kW;率高:45%~80%;運行成本低:0.1~0.12元/kWh。②燃氣內燃機機組配套設備簡單,電站可移動性強。③機組單機功率范圍:4kW~20...

  • 2019

    1-26

    所謂提高燃燒效率,就是要適量的天然氣與適量的空氣組成合適比例進行燃燒。因為空氣中有79%的N2,這些N2不參加燃燒,但在燃燒過程中被加熱,吸取能量后從煙道中被排到大氣中去。即為了使空氣中20.9%的O2參與燃燒,必須要加熱比O2多將近4倍的N2,然后將其放掉。這些能量的損耗是不可避免的,但卻可以減到低的程度。如果能在保證天然氣充分燃耗的前提下盡可能的減少空氣的輸入量,則這種形式的損耗將減至低。但空氣量的減少必須保證天然氣充分燃燒的前提下,否則由于天然氣未充分燃燒的能量損失也是...

  • 2017

    12-18

    磨煤機內部CO氣體的分布是均勻的,而溫度的分布是不均勻的,CO氣體的濃度變化比溫度更能真實、全面反應磨煤機內部的燃燒情況。事實上CO氣體濃度的增加往往發生在可視煙火前的1.5h左右,因此在局部溫度開始發生明顯變化之前,磨煤機的CO氣體濃度監測是防止磨煤機著火或爆炸的有效手段。《DLT5203-2005火力發電廠煤和制粉系統防爆設計技術規程》要求:燃燒爆炸感度和揮發分較高的煙煤和褐煤采用中速磨或雙進雙出磨煤機直吹式制粉系統時,宜設置磨煤機CO氣體濃度監測設備——CO氣體分析儀。...

  • 2017

    12-18

    “十二五”期間,國家發展改革委會同農業部累計安排中央預算內投資142億元用于農村沼氣建設,并不斷優化投資結構。根據農村沼氣發展面臨的新形勢,日前國家發改委調整中央投資方向,發布了《全國農村沼氣發展“十三五”規劃》,并提出到2020年國家沼氣總產量要達到207億立方米,其中重點用于支持規模化大型沼氣工程和生物天然氣工程試點項目建設,這兩項工程總投資超過了“十三五”農村沼氣工程總投資的60%,農村沼氣也邁出了轉型升級的新步伐。截至目前,我國沼氣總產量158億立方米,這意味著未來5...

  • 2017

    7-20

    在實際應用中,業主一般會采用諸如紅外沼氣分析儀之類的沼氣成分監測設備以檢測厭氧發酵產生的沼氣含量,但往往實際監測的沼氣濃度與理論計算得出的數值有一定的出入。一般在厭氧條件下,每降解1kgCOD約產生2%~8%的厭氧污泥(即微生物對營養物質進行同化后殘留的物質),而能量的傳遞效率是能量在沿食物鏈流動的過程中,逐級遞減。若以營養級為單位,能量在相鄰的兩個營養級之間傳遞效率為10%~20%。微生物由于其生物形態結構簡約,傳遞效率要稍高于多細胞生物為20%~30%,若以其傳遞效率25...

  • 2017

    7-11

    沼氣工程作為畜禽廢棄物資源化利用的能源環境工程,其沼氣發電環節是較為常見的資源化利用模式,通過開展純沼氣發電利用,既能讓養豬場提高自身的經濟效益,又可緩解電力緊缺的矛盾,還能解決養豬場多余沼氣利用等問題,是一舉多得的好事情。然而在沼氣發電環節除了需要*的沼氣發電機組及相關的沼氣成分監測設備如Gasboard-3200,用于監測沼氣濃度是否滿足發電條件外,還有一些發電條件需要尤其注意。在此,筆者對養豬場純沼氣發電的*條件進行一些簡要分析,以供相關人員借鑒。養豬場開展純沼氣發電必...

  • 2017

    7-7

    近日在湖南某沼氣工程現場,工作人員驚奇地發現:僅通過厭氧發酵工藝,竟然直接制取出了CH4濃度高達94%的生物天然氣!*,一般沼氣生產生物天然氣要經過凈化和提純兩個步驟,才可得到高甲烷濃度的生物天然氣,以用作管道燃氣、熱電聯供、生產壓縮天然氣和罐裝燃氣等。而該沼氣工程項目并沒有復雜的凈化、提純過程,就制出了CH4濃度高達94%的生物天然氣,讓人匪夷所思!發酵罐據了解,該項目厭氧發酵罐規模為800m3,其發酵原料主要來源于種豬養殖場的糞便與尿液,項目數據監測則采用武漢四方光電子公...

  • 2017

    7-7

    沼氣發酵是整個沼氣工程的核心,對沼氣生產效率和工程經濟具有決定性的影響。因此必須對沼氣發酵過程進行有效的監測,一般可以選擇一些沼氣成分監測設備,如沼氣分析儀Gasboard-3200,用戶可根據沼氣中甲烷、二氧化碳、硫化氫、氧氣等成分對沼氣發酵的工藝過程進行調控,可以有效提高沼氣產氣量。一、鋼板焊接結構沼氣發酵罐1)沼氣發酵罐的設計壓力通常取常壓或接近常壓,負壓不應小于0.49kPa。3)厚度附加量應考慮鋼板負偏差和腐蝕余量。鋼板焊接發酵罐多采用立式圓筒形,其結構設計zui主...

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