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半導體行業微量氧分析儀的自主研發與技術創新

一、半導體制造中氧監測的重要性與難點在半導體制造過程中,氧污染會引發不必要的氧化反應,導致集成電路和硅片產生缺陷,進而破壞薄膜結構的完整性,嚴重影響產品的均勻性與可靠性。因此,半導體制造商必須對工藝氣體及設備腔室中的氧含量進行嚴格監控,即便是微量氧氣(低至ppm級)也可能顯著損害元件性能。目前,半導體工藝氣體中的氧監測主要面臨以下技術難點:需實現10ppm以下超低濃度氧的精確檢測;需支持真空環境下的持續氧濃度監測;需在還原性氣氛中確保設備安全穩定運行。在眾多氣體檢測技術中,氧...

  • 2017

    7-7

    從20世紀80年代以來,國內工程公司、研究院、設計院和高等院校等通過對引進國外煤氣化技術的消化、吸收和工程實踐,進行了一系列的自主創新,開發出多達十幾種具有自主知識產權的先進潔凈煤氣化技術,其中除碎煤加壓氣化、YM爐是固定床氣化技術,ICC灰熔聚氣化是流化床氣化技術之外,其余均為氣流床加壓氣化技術。關于“中國制造”煤氣化技術(含在建)及工藝銳意自控匯總如下:我國自主開發并工業化應用(含在建)的潔凈煤氣化技術國內自主開發煤氣化技術的工藝比較國內自主開發的氣流床氣化技術除上述7種...

  • 2017

    6-22

    沼氣是有機物在厭氧和一定的溫度、濕度、酸堿度和密封等條件下,經過多種微生物分解發酵產生的一種可燃氣體。它是一種混合氣體,主要成分是甲烷和二氧化碳,其余為一氧化碳、氫氣、氮氣和硫化氫。在沼氣工程運行過程中,一般通過進出料COD、產氣量、pH、脂肪酸等幾項工藝運行參數,可以推測發酵裝置內微生物生長代謝情況,從而將運行工況調整到*狀態。因此,宜對溫度、產氣量、COD、pH、揮發酸、總堿度和沼氣成分等指標進行監測,掌握沼氣發酵裝置運行工況,并根據監測數據及時調整或采取相應措施。如果出...

  • 2017

    6-22

    工業儀表的腐蝕嚴重影響其自身的正常運行,給化工企業生產運作帶來了眾多不便。本文提出的建議希望能幫助化工企業更好的解決化工儀表的腐蝕問題。一、化工儀表的主要腐蝕類型1.電化學腐蝕電化學腐蝕是指金屬材料與電解質溶液結合時,發生原電池反應,比較活潑的金屬失去電子而被氧化。大多數金屬的破壞都是由電化學腐蝕造成的,比如鋼鐵在潮濕的空氣中比在干燥的空氣中腐蝕的快,因為潮濕的空氣在鋼鐵表面形成了電解質溶液,它跟鋼鐵里的鐵和碳形成了原電池,鐵失去了電子就被氧化了。電化學腐蝕是化工生產中zui...

  • 2017

    6-22

    “十三五”開局以來,國內逐步開始了燃煤電廠超低排放改造的戰略布局,隨著超低排放改造的實施,煙氣水分含量增大,煙氣特性發生了較大改變,對煙氣成分監測的性提出了更高要求。因此,分析對比各種煙氣監測技術的性能特點與實用價值,提出適用于超低排放改造的在線煙氣成分監測技術,為燃煤電廠煙氣監測系統的選型提供參考,對“十三五”燃煤電廠超低排放改造具有重要的指導意義。據《煤電節能減排升級與改造行動計劃(2014-2020年)》改造后煙氣中二氧化硫、氮氧化物排放的限值執行標準分別為35mg/m...

  • 2017

    6-2

    干式發酵是指以有機廢棄物為原料(干物質濃度在25%以上),利用水解產酸菌、產氫產乙酸菌和產甲烷菌將其分解為CH4、CO2、H2S等氣體的發酵工藝。由于固體濃度太高難以采用連續投料或半投料的投料方式,絕大數均采用批量投料。紅外沼氣分析儀Gasboard-3200系列。一、干式厭氧發酵技術的應用范圍1.城市生活垃圾組成:食物殘渣,廢紙,玻璃、陶瓷、塑料、金屬制品等廢物,煤灰渣及糞便等。特性:組分復雜且隨季節、場合而異;食品殘渣的比例需達到60%以上,尚未實現分類收集,用于堆肥時需...

  • 2017

    6-2

    國內外對焦爐煤氣的脫硫工藝分為正壓脫硫和負壓脫硫二種。某公司焦爐煤氣凈化一開始采用HPF正壓脫硫工藝,但脫硫效率低,且正壓脫硫需將煤氣冷卻,送入脫硫塔進行脫硫、脫氰,經過脫硫后,煤氣進入硫銨單元,又需對煤氣進行預熱,煤氣經過冷卻、預熱存在較大的能源浪費,不利于節能降耗生產,對此該公司將正壓脫硫工藝改為負壓脫硫工藝,采用紅外氣體分析儀(防爆型)Gasboard-3500對脫硫效果進行監測,項目運行3年來,脫硫效率提高,節能*,具有良好的經濟效益和環保效益。一、正、負壓脫硫工藝對...

  • 2017

    5-10

    VOCs(volatileorganiccompounds)即揮發性有機物,是一類化學質的統稱,在常溫壓下通具有高蒸汽。我國現標準中VOCs是指20℃條件下蒸汽壓大于等于0.01kPa,或在特定適用條件下具有揮發性的全部機化,或在特定適用條件下具有揮發性的全部機化合物的統稱。VOCs組成復雜,主要包括烷烴、烯烴、芳香烴、鹵代烴、含氧烴、氮烴、硫烴、低沸點多環芳烴等。其中常見的VOCs種類有甲苯(TolueneToluene)、二甲苯(Xylene)、對-二氯苯(Para-di...

  • 2017

    5-9

    項目概述針對焦化生產流程污染嚴重、影響環境保護問題,某鋼鐵公司焦化生產線采用目前焦化產業先進的干熄焦技術裝備工藝流程,以達到、節能、低耗、環保的目的。該鋼鐵干熄焦項目采用干熄焦氣體循環分析系統對用戶現場干熄爐及循環氣體系統中產生的氣體組分進行分析。系統由預處理單元、控制單元、分析單元三個部分構成,采用PLC程序控制,自動完成采樣、反吹、排冷凝水等操作,實現24小時無人值守的情況下實時在線監測工業過程氣體,大大減少了人工負荷,保證系統長期穩定、準確、連續自動在線運行。一級除塵二...

  • 2017

    5-8

    本文簡述了天然氣能量計量的基本原理,同時介紹了兩種不同原理的天然氣熱值測定方法,并對其進行了分析比較。GB12206-90給出了我國城市燃氣熱值的定義:每標準立方米(0℃,101.3KPa)干燃氣*燃燒時產生的熱量。當此熱量包括煙氣中水蒸氣凝結而散發的熱量時,稱為高位熱值,反之稱為低位熱值。縱觀近年來的發展情況,我國天然氣能量計量工業歷經多年積累,不斷取得進步,并逐漸與接軌,對整個天然氣產業的發展做出了不小的貢獻。筆者將介紹兩種天然氣熱值的測定方法:一種為使用熱量計直接燃燒測...

  • 2017

    5-4

    一、沼氣產量計算理論計算公式:沼氣產量=廢水濃度(kgCOD/m3)×設備去除率(%)×廢水日排放量(m3/d)×產沼氣率其中,產沼氣率為0.7m3/kgCOD(理論值)沼氣產量計算還有如下方式:1、按養殖規模計算,一般估算為:5頭豬、1頭牛、150只雞的糞便可產1m3沼氣。2、按照池容計算。如6m3、8m3、10m3沼氣池容積可分別產沼氣1.2m3、1.6m3、2m33、按照池中的干物質計算,如每公斤豬糞(干物質)產氣量為0.43m3/kg。4、按照去除的污染物計算,如每去...

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