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半導(dǎo)體行業(yè)微量氧分析儀的自主研發(fā)與技術(shù)創(chuàng)新

一、半導(dǎo)體制造中氧監(jiān)測(cè)的重要性與難點(diǎn)在半導(dǎo)體制造過程中,氧污染會(huì)引發(fā)不必要的氧化反應(yīng),導(dǎo)致集成電路和硅片產(chǎn)生缺陷,進(jìn)而破壞薄膜結(jié)構(gòu)的完整性,嚴(yán)重影響產(chǎn)品的均勻性與可靠性。因此,半導(dǎo)體制造商必須對(duì)工藝氣體及設(shè)備腔室中的氧含量進(jìn)行嚴(yán)格監(jiān)控,即便是微量氧氣(低至ppm級(jí))也可能顯著損害元件性能。目前,半導(dǎo)體工藝氣體中的氧監(jiān)測(cè)主要面臨以下技術(shù)難點(diǎn):需實(shí)現(xiàn)10ppm以下超低濃度氧的精確檢測(cè);需支持真空環(huán)境下的持續(xù)氧濃度監(jiān)測(cè);需在還原性氣氛中確保設(shè)備安全穩(wěn)定運(yùn)行。在眾多氣體檢測(cè)技術(shù)中,氧...

  • 2025

    4-16

    四方光電股份有限公司的創(chuàng)新型電化學(xué)一氧化碳傳感器ECO-5011系列已成功獲得UL2075認(rèn)證,標(biāo)志著該系列產(chǎn)品在一氧化碳?xì)怏w檢測(cè)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)與可靠性。UL2075作為氣體與蒸汽探測(cè)器的核心認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn),為包括一氧化碳(CO)在內(nèi)的氣體檢測(cè)設(shè)備開發(fā)與認(rèn)證提供了關(guān)鍵指導(dǎo)。該標(biāo)準(zhǔn)依據(jù)美國(guó)國(guó)家消防協(xié)會(huì)NFPA70《國(guó)家電氣法規(guī)》,規(guī)定了適用于室內(nèi)外環(huán)境的便攜式可燃?xì)怏w及蒸汽探測(cè)器與傳感器的技術(shù)規(guī)范。為滿足UL2075嚴(yán)苛要求,四方光電一氧化碳傳感器歷經(jīng)多項(xiàng)精密測(cè)試,涵蓋精度驗(yàn)證...

  • 2025

    4-15

    近年來(lái),全球平板顯示面板市場(chǎng)規(guī)模持續(xù)擴(kuò)大,下游消費(fèi)電子領(lǐng)域(電視、電腦、手機(jī)等)以及商用顯示、車載顯示、醫(yī)療顯示等專業(yè)顯示市場(chǎng)需求持續(xù)增長(zhǎng)。為應(yīng)對(duì)市場(chǎng)擴(kuò)容需求,LCD和OLED面板制造過程中亟需提升良品率,以確保終端市場(chǎng)產(chǎn)品供應(yīng)并維持市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。影響LCD與OLED質(zhì)量的核心要素在平板顯示制造工藝中,顆粒污染與靜電損傷是影響良率的兩大關(guān)鍵因素。隨著器件小型化與精密化發(fā)展,高密度集成電路的圖形特征尺寸及表面沉積層厚度已縮至微米級(jí),這使得生產(chǎn)工藝對(duì)顆粒污染更為敏感。基底表面顆粒...

  • 2025

    4-11

    在鋰電池生產(chǎn)過程中,NMP(N-甲基吡咯烷酮)作為制備正極漿料的重要溶劑,其濃度監(jiān)控直接影響產(chǎn)品質(zhì)量與生產(chǎn)安全。該物質(zhì)不僅具有腐蝕性,且易燃易爆特性使車間環(huán)境存在安全隱患,實(shí)時(shí)精準(zhǔn)的濃度監(jiān)測(cè)成為保障工藝穩(wěn)定與人員安全的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。目前普遍采用的催化燃燒式檢測(cè)儀存在痛點(diǎn):傳感器需頻繁停工校準(zhǔn)維護(hù),影響產(chǎn)線連續(xù)性;1~2年使用壽命增加使用成本;對(duì)硅、硫化氫等物質(zhì)的交叉敏感易導(dǎo)致傳感器中毒失效。這些問題制約著鋰電池企業(yè)生產(chǎn)效率與安全管控能力。針對(duì)如上問題,四方光電推出了自主研發(fā)的一款...

  • 2025

    4-9

    自1987年《蒙特利爾議定書》以來(lái),制冷劑加速向零ODP(大氣臭氧消耗潛能值)、低GWP(全球變暖潛能值)迭代及滲透。《中國(guó)履行(關(guān)于消耗臭氧層物質(zhì)的蒙特利爾議定書)國(guó)家方案(2024-2030)(征求意見稿)》,明確提出鼓勵(lì)自然工質(zhì)制冷劑替代技術(shù)研發(fā)和應(yīng)用。全球日益趨嚴(yán)的法規(guī)及環(huán)保需求助推,以R290、R1234yf、R744等為代表的自然工質(zhì)制冷劑技術(shù)加速在電動(dòng)汽車熱系統(tǒng)領(lǐng)域的研發(fā)和應(yīng)用。R290冷媒為何更適合電動(dòng)汽車?與傳統(tǒng)內(nèi)燃機(jī)車用空調(diào)相比,電動(dòng)汽車無(wú)法使用發(fā)動(dòng)機(jī)余熱...

  • 2025

    3-28

    2025開年,DeepSeek幾乎刷屏全球,成為全球關(guān)注的焦點(diǎn)。短短30天內(nèi),DeepSeek發(fā)布了多款大模型,如DeepSeek-V3、R1、Janus-Pro等,這些模型在160多個(gè)國(guó)家的應(yīng)用商店中登頂,甚至在一夜之間抹掉了美股萬(wàn)億市值。目前,其已成為最快突破3000萬(wàn)日活的APP!對(duì)于氣體檢測(cè)行業(yè)來(lái)講,它的出現(xiàn)是否將會(huì)通過深度學(xué)習(xí)算法與大數(shù)據(jù)分析,為行業(yè)提供從需求預(yù)測(cè)、供應(yīng)鏈優(yōu)化到應(yīng)用管理的全鏈路解決方案?現(xiàn)在,讓我們一起來(lái)對(duì)話這強(qiáng)大的AI軟件,看看它是否能幫我們更快地...

  • 2025

    3-27

    在復(fù)雜的工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境中,電氣設(shè)備的防爆功能至關(guān)重要。它如同一道堅(jiān)固的防線,有效防止因電氣火花或高溫使自身成為點(diǎn)火源而引發(fā)的爆炸事故,保障人員生命安全和企業(yè)財(cái)產(chǎn)不受損失。2014年,江蘇昆山某金屬制品公司因缺少泄爆裝置,導(dǎo)致鋁粉塵云高溫引發(fā)的重大爆炸事故,造成75人死亡,185人受傷,直接經(jīng)濟(jì)損失3.51億元;2018年,臨沂某石化公司因使用的非防爆電器產(chǎn)生電火花,引燃了泄漏的液化石油氣,導(dǎo)致重大爆炸事故發(fā)生,造成10人死亡,9人受傷,直接經(jīng)濟(jì)損失4468萬(wàn)元;2022年,四川...

  • 2025

    3-25

    項(xiàng)目背景SCR(選擇性催化還原)方法是目前火電、水泥、鋼鐵、焦化等企業(yè)脫硝領(lǐng)域最為成熟有效的一種技術(shù)。在290℃至430℃的溫度區(qū)間以及催化劑的協(xié)同作用下,NOx與氨(NH3)會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),將NOx轉(zhuǎn)化為氮?dú)猓∟2)和水(H2O),從而顯著減少NOx的排放。通常情況下,NH3與NOx之間的反應(yīng)效率能夠達(dá)到95%以上,但未參與反應(yīng)的NH3會(huì)形成所謂的“氨逃逸”現(xiàn)象。氨逃逸不僅會(huì)降低生產(chǎn)效率,還會(huì)對(duì)環(huán)境和人體健康帶來(lái)潛在的威脅。本項(xiàng)目位于滄州的一座大型火力發(fā)電廠內(nèi)。為響應(yīng)國(guó)家超...

  • 2025

    3-20

    全球市場(chǎng)份額位居前列根據(jù)YoleIntelligence《GasandParticlesensors2024》報(bào)告,2023年四方光電全球粉塵傳感器市場(chǎng)份額達(dá)17%。作為科創(chuàng)板上市公司,公司深耕智能氣體傳感器領(lǐng)域22年,聚焦光散射、自動(dòng)粒子識(shí)別(API)及鞘氣保護(hù)結(jié)構(gòu)三大核心技術(shù),構(gòu)建覆蓋消費(fèi)電子、工業(yè)、汽車、醫(yī)療四大領(lǐng)域的完整產(chǎn)品矩陣。核心技術(shù)構(gòu)筑競(jìng)爭(zhēng)壁壘1.光散射技術(shù)空氣中的顆粒散射入射光,強(qiáng)度與粒徑正相關(guān)。含顆粒空氣經(jīng)采樣口進(jìn)入光敏區(qū),粒子散射光生成脈沖信號(hào),光敏器件接...

  • 2025

    3-20

    快速在線多組分氣體檢測(cè)技術(shù)對(duì)各種工業(yè)過程控制至關(guān)重要。傳統(tǒng)的多組分氣體分析技術(shù)包括氣相色譜法、質(zhì)譜法和紅外吸收光譜法。氣相色譜儀的檢測(cè)速度太慢,質(zhì)譜儀過于精密且十分昂貴,紅外吸收光譜分析儀的可測(cè)量氣體種類非常有限,這三種傳統(tǒng)檢測(cè)設(shè)備均存在明顯缺陷,難以滿足工業(yè)過程控制的實(shí)際應(yīng)用需求。因此,在工業(yè)過程控制領(lǐng)域,迫切需要發(fā)展更加適用的多組分氣體檢測(cè)技術(shù)。四方光電(武漢)儀器有限公司(以下簡(jiǎn)稱“四方儀器”)自主研發(fā)的新一代產(chǎn)品LRGA-3200EX原位激光拉曼光譜氣體分析儀,具有測(cè)...

  • 2025

    3-14

    隨著汽車數(shù)量激增,尾氣污染已成為大氣環(huán)境的主要威脅。柴油車排放的氮氧化物(NOx)和顆粒物(PM)不僅危害人體健康,還會(huì)加劇溫室效應(yīng)、破壞臭氧層。為應(yīng)對(duì)這一挑戰(zhàn),國(guó)家實(shí)施了史上最嚴(yán)的國(guó)六排放標(biāo)準(zhǔn)——2023年7月全面推行的國(guó)六b標(biāo)準(zhǔn),將氮氧化物排放限值大幅降低41.7%,嚴(yán)控至每公里35毫克。柴油車尾氣處理的核心技術(shù)是“顆粒捕捉器(DPF)+選擇性催化還原裝置(SCR)”的組合。其中,SCR系統(tǒng)如同“凈化器”,通過噴射尿素將有毒的氮氧化物轉(zhuǎn)化為無(wú)害的氮?dú)夂退6@一過程的關(guān)鍵...

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