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半導體行業微量氧分析儀的自主研發與技術創新

一、半導體制造中氧監測的重要性與難點在半導體制造過程中,氧污染會引發不必要的氧化反應,導致集成電路和硅片產生缺陷,進而破壞薄膜結構的完整性,嚴重影響產品的均勻性與可靠性。因此,半導體制造商必須對工藝氣體及設備腔室中的氧含量進行嚴格監控,即便是微量氧氣(低至ppm級)也可能顯著損害元件性能。目前,半導體工藝氣體中的氧監測主要面臨以下技術難點:需實現10ppm以下超低濃度氧的精確檢測;需支持真空環境下的持續氧濃度監測;需在還原性氣氛中確保設備安全穩定運行。在眾多氣體檢測技術中,氧...

  • 2025

    1-7

    行業概述化工行業作為國家經濟的重要支柱,涵蓋了天然氣化工、石油化工和煤化工等多個領域。據中國石油和化學工業聯合會最新數據顯示,2024年上半年,化工行業營業收入達到8萬億元,同比增長5.1%,而利潤總額為4294.7億元,同比下降1.6%。盡管營業收入有所增長,但利潤的下降反映出行業整體盈利能力有所減弱。因此,提質增效成為化工行業提升經濟效益的關鍵所在。近年來,國家發改委、工信部等相關部門制定了一系列與化工行業創新發展、綠色低碳轉型、節能降碳、安全生產等密切相關的重要文件和產...

  • 2024

    12-18

    隨著環保意識的增強和排放標準的提高,對工業排放煙氣的連續監測變得越來越重要。煙氣排放連續監測系統(CEMS)作為評估排放水平的關鍵技術,其精確性和可靠性直接影響到政府環保決策和企業運營。在眾多CEMS技術中,熱濕法和冷干法是兩種主流的煙氣采樣和分析方法。本文將對這兩種技術進行比較分析。?熱濕法CEMS熱濕法CEMS是一種在煙氣分析過程中保持煙氣樣本原始溫度和濕度狀態的技術,從而直接測量含水蒸氣的煙氣中的污染物濃度。與冷干法通過冷卻和干燥煙氣樣本以去除水分不同,熱濕法允許煙氣保...

  • 2024

    12-13

    快速在線多組分氣體檢測技術對各種工業過程控制至關重要。傳統的多組分氣體分析技術包括氣相色譜法、質譜法和紅外吸收光譜法。氣相色譜儀的檢測速度太慢,質譜儀過于精密且十分昂貴,紅外吸收光譜分析儀的可測量氣體種類非常有限,這三種傳統檢測設備均存在明顯缺陷,難以滿足工業過程控制的實際應用需求。因此,在工業過程控制領域,迫切需要發展更加適用的多組分氣體檢測技術。四方光電(武漢)儀器有限公司(以下簡稱“四方儀器”)自主研發的新一代產品LRGA-3200EX原位激光拉曼光譜氣體分析儀,具有測...

  • 2024

    12-11

    一、概述統一規范的碳排放核算體系是推進“雙碳"工作的關鍵基石,不論是碳市場配額交易及清繳、自愿減排市場的減排量認定,還是碳減排金融支持工具、環境信息披露中的碳排放情況,都必須以碳排放統計核算工作為基礎。否則,所有的碳減排政策工具效果都將大打折扣。碳排放自動監測系統(CEMS)是一種用于實時監測和自動核算碳排放量的技術系統,能夠通過連續監測煙氣中的CO2、CH4、N2O等濃度和流速來計算碳排放量。與傳統的核算法相比,CEMS實測法具有更高的測量精度和實時性,有助于更準確地掌握企...

  • 2024

    11-13

    一、概述2024年9月9日,生態環境部辦公廳發布關于公開征求《全國碳排放權交易市場覆蓋水泥、鋼鐵、電解鋁行業工作方案(征求意見稿)》意見的函,水泥、電解鋁、鋼鐵三大行業將優先納入全國碳交易市場,參與線上交易的企業將越來越來重視碳排放量的核算工作。對于許多CO2年排放量達幾百萬噸的大型企業來講,假設核算排放量數據差異為1%,按2023年全年碳均價68.15元/噸來算,將涉及百萬元的碳交易配額。目前,國際社會廣泛使用的碳排放量化方法主要分為基于核算的方法和實測法。基于核算的方法是...

  • 2024

    9-24

    SCR(選擇性催化還原)方法是目前火電、水泥、鋼鐵、焦化等企業脫硝的一種方法,在一定溫度(290~430℃)及催化劑的作用下,NOx和氨(NH3)反應將NOx轉化為氨氣(N2)和水(H2O)以減少NOx排放。通常,NH3和NOx之間的反應效率可大于95%未反應的NH3則被稱為氨逃逸。氨逃逸不僅影響生產效率,更對環境和人體健康構成潛在威脅。本文將從氨逃逸的影響、所涉及的重點行業與常見逃逸部位、氨逃逸監測技術等方面對相關知識作出分享,感興趣的小伙伴們一起來看看吧~一、氨逃逸的影響...

  • 2024

    9-24

    近日,中國內燃機工業協會(以下簡稱“協會”)發布了《中國內燃機工業發展報告(2024版)》(以下簡稱《發展報告》)。這是自2010年起,協會連續第15年客觀記錄中國內燃機工業的發展現狀,并預測未來發展趨勢。四方光電(武漢)儀器有限公司(以下簡稱“四方儀器”),屹立于內燃機測試設備行業前沿,受到了《發展報告》的特別關注和報道。與往年相比,2024版的《發展報告》更加強調節能減排、循環經濟、燃料多樣性和嚴格執行排放標準的重要性,突出了行業發展的重點方向。報告全面分析了2023-2...

  • 2024

    9-23

    我國是全球機動車產銷第一大國,移動源污染已成為空氣污染的重要來源,是造成我國大中城市細顆粒物污染的重要原因。因此,解決機動車排放問題是實現“美麗中國”空氣質量改善目標、保護人群健康及提升最普惠的民生福祉的關鍵。排放標準升級是機動車污染減排的主要驅動力。2024年6月歐盟正式發布的歐7標準代表了當前的機動車排放標準,該標準不僅升級了尾氣排放的污染物檢測項目與限值(如表1和表2),還新提出了制動系統和輪胎顆粒物排放檢測要求(如表3)。我國生態環境部2020年10月牽頭開啟國七排放...

  • 2024

    9-18

    一、概述碳計量儀器是開展碳排放監測的硬件基礎,加強碳計量儀器的研制和推廣應用,有助于提高我國實現“雙碳”目標的自主保障能力,提升我國在全球碳計量領域的地位。目前,我國碳計量儀器研制尚處于起步階段,碳計量儀器長期依賴進口,各類高準確度儀器尤其是碳計量儀器需求不斷增加,亟需加快儀器研發進度,加力支持碳計量儀器研發應用,著力補齊短板,提高我自主保障能力和國際市場競爭力。為提高我國碳計量儀器裝備水平,國家發展改革委、市場監管總局、生態環境部近日聯合印發《關于進一步強化碳達峰碳中和標準...

  • 2024

    9-12

    隨著國際海事組織“IMO2020限硫令”的發布,廢氣中SO2、CO2等組分排放濃度的測定成了判斷船舶排放是否合格的依據,安裝船舶廢氣清洗系統(脫硫塔)成了很多大型遠洋船舶的選擇。早在2015年7月,歐盟委員會就正式提出了航運溫室氣體排放“監控、報告、驗證”(MRV)法規,明確要求停靠歐盟港口的5000總噸及以上的所有船舶(軍船、漁船、非機動船等特殊船除外)的船公司/船東需持有由第三方機構驗證過的CO2監控計劃和排放報告符合文件,且要接受港口國相關主管機關的檢查和審查。2023...

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